AOI共同的检测原理“利用相机拍摄待测物的照片，再与样板照片进行比较相机的成像方式：利用反射光来成像，与人的眼睛能看到物体 一样常用的原理：FOV，灰阶，权重，灰阶即亮度，定义在0-255，即画面的亮暗成都，彩色RGB的亮度0-255，权重及灰阶的关系，灰阶-红色的亮度*红色的权重+绿色的亮度*绿色的权重+蓝色的亮度*蓝色的权重，大部分的AOI检测原理为影像对比+色差处理+灰阶运算。其他还有一些检测原理如：光谱法，荧光法，红外光法，XRAY，OCT，频闪放，断层扫描及动态量测。

3D量测 ：

大尺寸（CM以上）多采用三角法和叠纹法。

小尺寸(MM以下）多采用共焦法，自动聚焦法，立体显微法，白光干涉法，全像干涉法。

2D和3D技术有一个关键的区别，2D技术只能发现缺陷。通常，使用2D技术的用户只关注发现缺陷，而没有注意到误报。然而，3D完全不同，3D技术是测量尺寸，而不仅仅是检测缺陷。